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张颖

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：安徽师范大学物理与电子信息学院更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体激元
  • 1篇光刻
  • 1篇表面等离子体
  • 1篇表面等离子体...

机构

  • 1篇安徽师范大学

作者

  • 1篇石建平
  • 1篇米佳佳
  • 1篇张颖

传媒

  • 1篇淮南师范学院...

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
亚波长金属光栅光刻条纹分布
2015年
亚波长金属光栅表面等离激元(SPP)具有光场局域增强、异常透射等现象,被广泛用于光刻。利用FDTD Solutions软件,改变金属光栅材料、周期、厚度等因素,通过有限时域差分方法探究表面等离共振光刻条纹分布特点。仿真结果表明,亚波长金属光栅光刻条纹分布周期是光栅的周期一半,光刻条纹强度在表面等离共振波长作用下也会大于入射光强度。该研究为微纳米光学器件的设计提供了依据。
米佳佳张颖石建平
关键词：表面等离子体激元光刻
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共1页<1>
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