徐静浩
- 作品数：26 被引量：52H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 双孔点衍射干涉成像系统波像差检测技术研究被引量：5
- 2021年
- 提出了一种用于测量高精度成像系统的双孔点衍射干涉仪,具有高光场均匀性、高可测量数值孔径、准共光路、相移元件在系统成像光路以外的优点。设计了两种测量模式,点衍射测量模式和系统误差测量模式,其中系统误差模式用于标定干涉仪的系统误差。分别搭建了双孔点衍射干涉和双光纤点衍射干涉的实验装置,完成了对设计波像差小于0.045λ RMS,5×透射式投影物镜的检测实验。实验结果表明,与双光纤点衍射干涉仪对比,双孔点衍射的波像差测量相对误差为0.07 nm RMS,且干涉图具有更加良好的光强均匀性。验证了本文检测技术的有效性。
- 冯鹏唐锋唐锋卢云君王向朝郭福东卢云君
- 平面面形绝对检验技术测量误差分析被引量：15
- 2011年
- 绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约,可实现纳米精度的面形测量。对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较,运用泽尼克多项式前36项构建被测平面,对边缘噪声、平面原始精度、旋转角度与偏心误差等因素对典型平面面形绝对检验技术测量精度的影响进行了模拟分析。绝对检验对被测平面原始精度、干涉图分辨率和旋转角度误差不敏感,对边缘噪声和旋转偏心误差敏感。实际测量中,旋转轴心对准误差应小于2 pixel,测量中心面积比取95%左右。
- 徐洋唐锋王向朝徐静浩范李立程欣
- 100 kHz重复频率锡液滴靶研究
- 2023年
- 锡液滴发生器是激光等离子体型极紫外(LPP-EUV)光刻光源中最重要的核心部件之一。光刻光源要求锡液滴靶具备高重复频率、小直径且稳定性好的特性。综述了中国科学院上海光学精密机械研究所EUV光源团队近年来在液滴发生器方面的研究进展,包括液滴直径、重复频率、间距、位置和稳定性等。现阶段研制的锡液滴发生器,在100 kHz频率下喷射的锡液滴直径约为40μm,间距约为230μm,工作时长接近5 h。锡液滴在10 s短时间内,竖直和水平方向的位置不稳定性分别约为2μm和1μm。未来锡液滴的可用性性能(如液滴直径、工作时长和长时间的位置稳定性)还需进一步提升。
- 孙海轶王关德李学红彭凯伦邹家杰彭宇杰王成冷雨欣徐静浩范李立袁丰华李中梁步扬王天泽张子怡新刚林楠
- 关键词：极紫外
- 宽光谱大视场显微物镜光学系统
- 一种宽光谱大视场显微物镜光学系统，包括沿光路方向同轴依次排列的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组、孔径光阑、第六透镜组、第七透镜组和第八透镜组，所述的第一透镜组至第八透镜组构成物镜组E1，所述的第...
- 徐静浩步扬王向朝
- 文献传递
- 基于光谱估计与多光谱技术的光学元件表面疵病检测被引量：12
- 2019年
- 为实现精密光学元件表面疵病的高效测量和精确统计,提出了一种基于光谱估计和多光谱技术的光学元件表面疵病检测方法。该方法利用光谱估计提取白光图像中不同波长的单光谱疵病图像,并合成多光谱疵病图像,然后采用优化后的OTSU(Otsu Image Segmentation Algorithm)分别对单光谱与多光谱疵病图像进行分析。基于该方法搭建了光学元件表面疵病检测装置,获得了白光照明条件下光学元件表面疵病的图像。实验结果表明,与原始白光图像相比,合成多光谱图像的疵病检出数量提升了1.85倍,疵病检出面积最大增加了6.0倍,检测效率得到明显提高。根据光学元件表面疵病的特性选取不同波长组合来生成单光谱与多光谱图像,可更加高效精确地检测出传统检测技术不易检出的疵病信息。
- 杨言若步扬徐静浩王少卿王向朝李杰
- 干涉显微物镜光学系统
- 一种干涉显微物镜光学系统，包括第一透镜组，第二透镜组，第三透镜组，第四透镜组，孔径光阑，第五透镜组，第六透镜组，参考面基板组，分光束平片组沿光轴自左向右顺序排列，第一透镜组至分光束平片组构成系统的物镜组E1；所述的第二透...
- 徐静浩步扬王向朝
- 文献传递
- 用于视频成像的显微物镜光学系统
- 一种用于视频显示成像的显微物镜光学系统，由第一透镜组、第二透镜组、分光棱镜、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组、第六透镜组、第七透镜组、第八透镜组、第九透镜组沿光轴自左向右顺序排列，第一透镜组和第二透镜组构成系统的前置物...
- 曹红曲步扬王向朝徐文东袁春晓徐静浩
- 文献传递
- 用于LIBS测试的非牛顿流体的制备方法
- 一种用于LIBS测试的非牛顿流体的制备方法，其特点在于该方法包括以下步骤：1)待测液体和固体试剂的质量比在1：1至5：1之间，确定质量比后，用滴管吸取适量的待测液体放入烧杯中，再称量相应的固体试剂加入烧杯中，用玻璃棒搅拌...
- 王远航步扬蔡亚超徐静浩王向朝
- 基于光谱估计与电子分光技术的光学元件表面疵病检测方法
- 一种基于光谱估计与电子分光技术的光学元件表面疵病的检测方法，本发明通过光谱估计与电子分光技术获取疵病图像的单波长分光图像以及彩色分光图像，并对疵病分光图像进行优化处理并自动筛选最佳分光图像。相较于现有技术，本发明解决了现...
- 杨言若步扬徐静浩王少卿王向朝
- 文献传递
- 基于随机光栅压缩感知的激光诱导击穿光谱装置及测量方法
- 一种基于随机光栅压缩感知的激光诱导击穿光谱装置及测量方法，该装置包含基于随机光栅的光谱采集模块。所述的基于随机光栅的光谱采集模块包含收集透镜、出瞳转换系统、随机光栅、光电探测器、脉冲延时器和计算机，本装置不仅可以获得等离...
- 王远航步扬蔡亚超徐静浩王向朝
- 文献传递
