张旭辉
- 作品数：6 被引量：9H指数：2
- 供职机构：南京航空航天大学机电学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省高校优势学科建设工程资助项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 偏压对磁控溅射沉积立方氮化硼薄膜的影响被引量：1
- 2012年
- 合适的衬底偏压是物理气相沉积制备cBN的必须条件,本文采用基于蒙特卡洛方法的SRIM软件对PVD过程中离子轰击衬底进行了分析,并进行了相关的实验研究。仿真与实验结果显示,随着离子轰击能量的增加,离子轰击深度和范围扩大,有利于cBN的成核与生长,但是过大的轰击能量会导致薄膜表面N与B元素的不匹配以及薄膜立方相的下降。同时,在PVD气氛中适量添加N2可以弥补薄膜表面N元素的损失,有利于提高立方相含量。
- 徐锋左敦稳张旭辉户海峰王珉
- 关键词：立方氮化硼薄膜磁控溅射离子轰击立方相
- 基于微纳米金刚石过渡层的cBN刀具涂层制备被引量：2
- 2013年
- 立方氮化硼(Cubic Boron Nitride,cBN)是仅次于金刚石的超硬材料,比金刚石具有更高的化学稳定性,可以胜任铁系金属的加工。本文在YG6硬质合金上基于微纳米金刚石过渡层开展cBN涂层的制备研究。本文在热丝化学气相沉积系统中制备微纳米金刚石过渡层(Micro/nanocrystalline diamond,M/NCD),在射频磁控溅射系统中制备cBN涂层,并对M/NCD与cBN涂层进行了成分、微观形貌与结合性能的研究。研究结果发现,在硬质合金基体上,M/NCD过渡层的结合性能明显优于NCD过渡层。磁控溅射制备cBN涂层过程中,存在适合cBN沉积的衬底偏压阈值,过高或过低的衬底偏压均不利于cBN含量的提高。
- 徐锋左敦稳张旭辉户海峰张骋王珉
- 关键词：立方氮化硼刀具涂层磁控溅射过渡层
- 切削刀具用立方氮化硼涂层的研究进展被引量：4
- 2012年
- 立方氮化硼(cubic boron nitride,cBN)具有优异的物理力学性能和极高的化学稳定性,可以胜任铁系金属的加工,在高性能切削刀具等领域有着广泛的应用前景。cBN涂层在复杂刀具应用中有着不可替代的作用,由于气相生长高纯度和结合性能的cBN刀具涂层仍存在着较多的技术难题,因此仍然难以得到广泛的应用。本文综述了近20年来气相沉积cBN涂层的研究进展,阐述了物理气相沉积与化学气相沉积cBN涂层的方法与机理,分析了cBN刀具涂层制备与应用的关键问题,结合研究现状指出了cBN刀具涂层研究的发展方向。
- 徐锋左敦稳张旭辉户海峰张骋王珉
- 关键词：立方氮化硼刀具涂层化学气相沉积物理气相沉积过渡层
- 铝过渡层沉积CVD金刚石涂层的研究被引量：1
- 2012年
- 使用Murakami溶液和王水预处理高钴硬质合金刀片,并用直流磁控溅射(DCS)技术在此硬质合金上溅射铝过渡层,在热丝化学气相沉积(HFCVD)设备里沉积金刚石薄膜;分析了金刚石形核机理,并利用SEM以及Raman等方法表征试样。结果表明:与未溅射过渡层的样品相比,在过渡层上的金刚石形核密度更高,金刚石颗粒尺寸更加细小。
- 郑琳左敦稳徐锋卢文壮张旭辉黄美健朱良杰
- 关键词：金刚石薄膜
- 微/纳米CVD金刚石涂层的制备被引量：1
- 2012年
- 使用热丝化学气相沉积(HFCVD)装置,在以WC-CO硬质合金为衬底,采用调节涂层生长参数,制备出性能优良的微/纳米金刚石涂层。用SEM,AFM,Raman表征微观结构和表面品质。采用压痕法评估涂层的结合性能,并与微米金刚石涂层、纳米金刚石涂层进行比较。结果显示,当生长气压由3.3 kPa降为1.0 kPa时,底层的微米级晶粒逐渐被上层纳米级晶粒覆盖,并且涂层表面显露出纳米金刚石涂层特性。在结合性能实验中也指出,微/纳米金刚石涂层的结合性能比纳米金刚石涂层要优异。
- 张旭辉左敦稳徐锋庆振华黄美健郑琳
- 关键词：热丝化学气相沉积金刚石涂层表面粗糙度
- CVD金刚石涂层拉丝模温度场数值分析
- 2012年
- 衬底温度是热丝化学气相沉积(HFCVD)制备金刚石薄膜的重要参数之一,在拉丝模表面沉积CVD金刚石涂层时,均匀的衬底温度场显得尤为重要。对HFCVD系统中制备CVD金刚石涂层时拉丝模衬底温度场进行数值分析,得到了拉丝模温度场的分布和热丝参数对衬底温度场的影响规律,为CVD金刚石涂层拉丝模的制备提供重要指导。
- 黄美健左敦稳卢文壮徐锋张旭辉
- 关键词：热丝化学气相沉积金刚石薄膜温度场
