陈广彬
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：长春理工大学理学院更多>>
- 发文基金：吉林省环保局科技项目更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 离子束溅射沉积制备TiO/_2薄膜及其光学特性研究
- 离子束溅射因为其优异的工艺稳定性,能够制备高质量性能优越的薄膜而越来越受到人们的关注,现已经成为制备高性能薄膜的重要手段。本论文在室温条件下通过离子束溅射沉积技术在K9玻璃和和高纯的P型/(100/)晶面硅上制备透明均匀...
- 陈广彬
- 关键词：离子束溅射沉积应力透过率光致发光
- 文献传递
- 磁控溅射制备Ti-Zn-O复合薄膜及其光学性质研究被引量：1
- 2014年
- TiO2是作为一种宽禁带半导体材料可作为紫外器件,但因其间接带隙结构、禁带宽度仅为3.0eV等特点,严重影响其应用范围。本文利用共溅射技术,通过Zn掺杂,在K9玻璃基底上制备了Ti-Zn-O复合薄膜,并研究了Zn溅射功率对其结构及光学性质的影响。结果显示:所制备的薄膜为ZnTiO3和不饱和TiO2的复合结构,随着Zn粒子的溅射能量增加,晶粒尺寸和表面粗糙度增加,并可将薄膜本征吸收边蓝移至3.61eV。
- 朱明海陈广彬冯禹龚楠汪剑波
- 关键词：磁控溅射禁带宽度
