张金春
- 作品数：5 被引量：4H指数：1
- 供职机构：浙江大学更多>>
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- 相关领域：机械工程电子电信更多>>
- 在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法
- 本发明公开了一种在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法，该方法首先通过干涉仪获得包含调整误差的波面数据，并测量待测球面曲率半径和口径作为去除调整误差的辅助数据；待测球面半径的测量采用单频激光干涉法，口径的测量用游标...
- 张金春汪凯巍白剑吴永前
- 文献传递
- 一种高精度长焦距透镜的焦距检测装置
- 本发明公开了一种高精度长焦距透镜的焦距检测装置，包括激光器、显微物镜、针孔、第一朗奇光栅、待测长焦距透镜、第二朗奇光栅、毛玻璃和CCD相机。激光器发出的光经显微物镜和针孔后形成一个发散光束，入射到第一朗奇光栅上，再经待测...
- 金晓荣张金春白剑侯昌伦侯西云
- 在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法
- 本发明公开了一种在球面面形干涉检测中高精度消除调整误差的方法，该方法首先通过干涉仪获得包含调整误差的波面数据，并测量待测球面曲率半径和口径作为去除调整误差的辅助数据；待测球面半径的测量采用单频激光干涉法，口径的测量用游标...
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- 一种高精度长焦距透镜的焦距检测装置
- 本发明公开了一种高精度长焦距透镜的焦距检测装置，包括激光器、显微物镜、针孔、第一朗奇光栅、待测长焦距透镜、第二朗奇光栅、毛玻璃和CCD相机。激光器发出的光经显微物镜和针孔后形成一个发散光束，入射到第一朗奇光栅上，再经待测...
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- 文献传递
- 高精度子孔径拼接中参考面误差的去除方法被引量：4
- 2014年
- 基于最小二乘拟合的传统干涉子孔径拼接方法实现了小口径干涉仪对大口径光学元件的检测,然而在子孔径测试过程中,由于干涉仪上的参考面存在面形误差,将使获得的各子孔径的面形数据偏离真实值,所以在进行高精度面形测量时,获得参考面的面形误差并将其补偿掉是非常必要的。因此,提出了一种在拼接过程中用Zernike项对子孔径间重叠区域数据进行拟合的方法来求得参考面面形。首先在传统的目标函数上加入一系列Zernike项表征待求参考面,然后按照最小二乘法对函数进行求解得到各项系数,从而得到拟合的参考面。对平面和球面分别进行了子孔径拼接实验,拟合得到的参考面面形与QED拼接干涉仪计算得到的参考面面形的PV值偏差小于5nm,RMS值偏差小于0.2nm,拼接后的重叠区域不匹配误差值小于10nm。实验结果表明,在子孔径拼接过程中可以补偿参考面误差而得到更真实的拼接面形。
- 邓万涛汪凯巍白剑张金春
- 关键词：光学检测子孔径拼接误差补偿
