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罗辰

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：南通大学更多>>
发文基金：南通市应用研究计划项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇单晶
  • 2篇单晶体
  • 2篇晶粒
  • 2篇晶粒尺寸
  • 2篇晶体
  • 2篇光斑
  • 2篇光斑尺寸
  • 2篇硅薄膜
  • 2篇非晶硅
  • 2篇非晶硅薄膜
  • 2篇长波
  • 2篇尺寸
  • 1篇正压
  • 1篇微电子
  • 1篇净化工作台
  • 1篇工作台
  • 1篇工作台设计

机构

  • 3篇南通大学

作者

  • 3篇罗辰
  • 2篇花国然
  • 2篇张华
  • 2篇顾江
  • 2篇王强
  • 2篇陈宏
  • 1篇戴丽娟
  • 1篇施敏
  • 1篇王强
  • 1篇张丹

传媒

  • 1篇中国现代教育...

年份

  • 2篇2011
  • 1篇2010
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种非晶硅薄膜可控同质外延生长的方法
本发明涉及一种应用长波脉冲激光技术进行非晶硅薄膜可控同质外延生长的方法。首先将经化学气相沉积制得的具有单晶体或多晶体衬底的非晶硅薄膜置于具有惰性气体的保护性容器中；然后用波长为1.00～1.10微米的脉冲激光，通过调整光...
花国然王强戴丽娟张华罗辰顾江陈宏
文献传递
一种非晶硅薄膜可控同质外延生长的方法
本发明涉及一种应用长波脉冲激光技术进行非晶硅薄膜可控同质外延生长的方法。首先将经化学气相沉积制得的具有单晶体或多晶体衬底的非晶硅薄膜置于具有惰性气体的保护性容器中；然后用波长为1.00～1.10微米的脉冲激光，通过调整光...
花国然王强张华罗辰顾江陈宏
微电子光刻实验净化工作台设计
2011年
提出了一种导流分压式双正压净化工作台。分析了该工作台的结构特征及工作原理。通过与常规垂直层流净化工作台的比较及实验结果分析,指出了该产品的经济性、优越性及应用前景。
王强施敏罗辰张丹
关键词：净化工作台
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