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李英华

作品数：4 被引量：3H指数：1
供职机构：辽宁工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 3篇振子
  • 3篇抛光
  • 2篇压电振子
  • 2篇振动
  • 2篇振动频率
  • 2篇抛光装置
  • 2篇椭圆运动
  • 2篇工作表面
  • 1篇振型
  • 1篇模态
  • 1篇模态分析
  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇环形振子
  • 1篇机械抛光
  • 1篇齿数

机构

  • 4篇辽宁工业大学

作者

  • 4篇李英华
  • 3篇何勍

传媒

  • 1篇辽宁工业大学...

年份

  • 4篇2011
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
基于旋转行波的超声抛光振子理论及实验研究
近年来,超声加工技术在我国发展十分迅速,尤其是在难加工领域解决了许多关键性的工艺问题,取得了较好的进展。本课题是在国家自然科学基金项目(51075195)资助下,针对硅片的超声振动抛光工艺,探索一种新的基于面外弯曲行波的...
李英华
关键词：抛光压电振子化学机械抛光
文献传递
圆环形超声抛光振子
一种圆环形超声抛光振子，解决了现有板状抛光装置存在的抛光的面积小、效率低问题；它由振子弹性体和压电陶瓷片构成，压电陶瓷片粘贴在振子弹性体上，其特殊之处是，所述的振子弹性体为中部凹陷、外部凸起的圆盘形，在振子弹性体的中心有...
何勍李英华
文献传递
含齿环形振子的振型一致性分析被引量：1
2011年
基于有限元数值分析方法,对环形压电振子的面外弯曲模态进行了模拟,研究了振子齿数对弯曲模态一致性的影响。数值结果表明,当齿数为模态阶次的整数倍时,振子具有理想的振型一致性。
李英华何勍
关键词：压电振子齿数模态分析
圆环形超声抛光振子
一种圆环形超声抛光振子，解决了现有板状抛光装置存在的抛光的面积小、效率低问题；它由振子弹性体和压电陶瓷片构成，压电陶瓷片粘贴在振子弹性体上，其特殊之处是，所述的振子弹性体为中部凹陷、外部凸起的圆盘形，在振子弹性体的中心有...
何勍李英华
文献传递
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