张世忠
- 作品数：4 被引量：15H指数：3
- 供职机构：哈尔滨工业大学机电工程学院机器人技术与系统国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>
- 基于电流与电压复合控制的压电陶瓷驱动器被引量：5
- 2009年
- 针对电压控制型压电陶瓷驱动器存在动态性能差的问题，及电流控制型压电陶瓷驱动器存在在静态下易充电饱和、难以获得稳定输出的问题，该文设计了基于电流与电压控制的复合型压电陶瓷驱动器。该驱动器具有电流电压双闭环反馈，使驱动器可兼具良好的静态和动态特性。在此基础上，分析了复合型驱动器的性能特点和各参数对其性能的影响，通过调整参数可改变驱动器性能，以满足不同需求。实验结果表明，该驱动器驱动行程为10sm的压电陶瓷时，0～100V阶跃信号响应时间小于400μs，满行程带宽可达1.5kHz，给定直流信号下可获得良好的稳定输出。
- 荣伟彬徐敏张世忠
- 关键词：压电陶瓷驱动器复合型控制电流控制动态性能稳态性能
- 基于高精度测微仪的晶圆预对准方法被引量：3
- 2009年
- 现有的基于高精度测微仪的预对准方法需交换晶圆才能够完成操作.为提高其效率,介绍了一种无需晶圆交换的预对准方法.该方法采用缺口定向先于圆心定位的预对准顺序,通过一维旋转和二维直线平移完成晶圆的定位.另外,还给出了该方法重复定位晶圆圆心和缺口的误差表达式.针对线性最小二乘圆拟合算法进行晶圆缺口拟合时计算精度不易保证的问题,提出了一种非线性晶圆缺口拟合算法,即利用Levenberg-Marquardt算法直接求解缺口边缘拟合问题.精度测试结果表明,该算法的计算误差近似为现有缺口拟合算法误差的1/2.
- 曲东升张世忠荣伟彬孙立宁
- 关键词：LEVENBERG-MARQUARDT算法
- 一种新型压电陶瓷嵌入式控制器被引量：2
- 2007年
- 利用嵌入式方法设计了一种用于压电陶瓷微小型设备控制的新型控制器,单板实现了传统控制器上下位机才能实现的功能。经过合理的软硬件设计,该控制器可同时进行对被控对象的实时控制及非实时性的人机交互、通讯等多任务处理。
- 邹翾荣伟彬张世忠孙立宁
- 关键词：嵌入式系统控制器压电陶瓷
- 基于黏滑运动原理的单自由度纳米定位台设计与动力学分析被引量：5
- 2012年
- 为解决基于扫描电镜纳米操作系统定位驱动方面的关键技术,分别研制能够实现水平定位和垂直定位的单自由度纳米定位台。定位台采用黏滑驱动原理,驱动机构采用柔性铰链设计,O形调节圈的引入既实现摩擦力的精密调节又保证整体结构的紧凑。为研究黏滑驱动原理和辅助纳米定位台设计,建立单自由度纳米定位台的动力学模型。考虑压电陶瓷的动态特性和摩擦力的非线性变化,对压电驱动模型进行线性化处理,引入LuGre模型实现对摩擦力的表达。试验结果表明该动力学模型能够有效地描述黏滑定位台的运动状态。单自由度水平和垂直纳米定位台的最大外形尺寸分别为24 mm×24 mm×17 mm和24 mm×24 mm×34 mm,均具有8 nm定位分辨率和50 mm行程,最大负载质量可达66 g。利用所设计的两种纳米定位台搭建基于SEM的双探针纳米操作系统,纳米线双探针操作试验表明该两种纳米定位台完全满足SEM下进行纳米操作的要求。
- 张世忠荣伟彬台国安于淼孙立宁
