尹君
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：江苏大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：江苏省高校自然科学研究项目江苏省自然科学基金江苏省“青蓝工程”基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 氮分压对Ta–N薄膜摩擦性能的影响被引量：1
- 2011年
- 在氮气和氩气的混合气氛中,在不同N2分压下,用直流磁控溅射法在Si基片上沉积非晶态Ta–N薄膜。利用X射线衍射仪、原子力显微镜、台阶仪和纳米压痕仪、光学轮廓仪和扫描电子显微镜对沉积的薄膜进行表征。结果表明:不同N2分压下沉积的薄膜都有平整且致密的表面,表面均方根粗糙度都较小;随着N2分压的上升,薄膜沉积速率、纳米硬度和弹性模量都随之下降。所制备薄膜在室温、空气环境中具有稳定的滑动摩擦因数;当N2分压为混合气体的10%(体积分数)时,薄膜的摩擦因数最低,仅为0.27,但由于硬度较低,其磨损也相对较为严重。
- 严学华尹君程晓农
- 关键词：弹性模量表面形貌
- 磁控溅射Ta-C-N薄膜摩擦学性能研究被引量：2
- 2012年
- 采用磁控溅射法在Si基片上沉积非晶态Ta-C-N薄膜。利用纳米压痕仪表征其纳米硬度和弹性模量;摩擦磨损实验检测其摩擦学性能;光学轮廓仪和扫描电镜观察磨痕形貌。结果表明:Ta-C-N薄膜具有较高的纳米硬度9.45 GPa和弹性模量225.71 GPa,同时具有较低的摩擦系数0.238,磨损率5.94×10-6 mm3.N-1.m-1,磨面较为平整光滑,体现了优越的摩擦磨损性能。
- 严学华尹君程晓农
- 关键词：弹性模量磨损
