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栗建中
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
文玉梅
重庆大学光电工程学院光电技术及...
李平
重庆大学光电工程学院光电技术及...
曾婕
重庆大学光电工程学院光电技术及...
张小花
重庆大学光电工程学院光电技术及...
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传感器与微系...
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1篇
2010
共
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一种磁性薄膜/石英音叉复合磁传感器研究
被引量:1
2010年
针对磁电层复合式磁传感器Q值低的问题,提出一种磁性薄膜与石英音叉复合的磁传感器结构,通过测量音叉谐振频率变化量或Q值变化量达到检测静磁场的目的。采用有限元方法对磁性薄膜的位置进行了分析,发现薄膜复合于音叉侧臂顶部有最灵敏的磁场探测能力,并进行了实验验证。实验结果表明:测量Q值变化量比测量谐振频率变化量更优,最大灵敏度为119.471/mT,测量Q值分辨率为1,石英音叉Q值稳定度为20×10-6时,该磁传感器结构对磁场的分辨率为10-6T,敏感结构在零偏置磁场时Q值达2000左右。
曾婕
文玉梅
李平
栗建中
张小花
关键词:
磁性薄膜
石英音叉
有限元分析
谐振频率
Q值
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