徐利兵
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：曲靖师范学院物理与电子工程学院更多>>
- 相关领域：一般工业技术化学工程更多>>
- 热蒸发制备Zn/ZnO薄膜的实验研究
- 2011年
- 本文采用低真空热蒸发技术,以锌作为蒸发源,通过调节蒸发时间,蒸发温度,真空度等工艺参数,在玻璃基底上获得薄膜样品,再对薄膜进行退火处理。实验结果表明:采用低真空蒸发镀膜法可以制备得到取向很好的Zn(002)单晶薄膜,薄膜样品在450℃真空条件下做退火处理后,进一步提高金属锌膜薄膜单晶性;样品经300℃大气下退火处理后,可得取向(101)的强织构ZnO结构。
- 曾永平陶淑芬徐利兵杨红磊
- 关键词：ZNO薄膜退火处理晶体结构
- 金属铝薄膜制备实验研究
- 2012年
- 采用金属铝片作为靶材,用热蒸发镀膜的方法,在玻璃基体上制备金属铝膜样品,样品再经过不同条件下的退火处理。X射线衍射检测分析表明:热蒸发法在玻璃基底上能够制备生成金属铝膜。退火处理后依然是金属铝膜,薄膜样品中没有氧化物成分。金属铝膜主要有两种结构成分,部分为非晶结构,部分为单晶结构晶体,薄膜形貌呈准直阵列状的结构。
- 陶淑芬徐利兵
- 关键词：热蒸发铝膜退火处理X射线衍射
