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吴雷

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇热分析
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微机械

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇李铁
  • 1篇王立春
  • 1篇王翊
  • 1篇王跃林
  • 1篇吴雷

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微机械面型微加热器的热学分析被引量：2
2005年
针对微机械面型微加热器,采用解析方法对加热器在真空和大气下的温度分布,以及均热器对加热器温度分布的影响进行了深入分析。分析结果表明,真空下环形加热电阻可以达到较好的大面积均温效果,而大气下的加热电阻应尽可能小同时尽可能分布在整个加热区内,分析的结果经ANSYS有限元模拟和样品制作测试,与实际情况吻合较好。
吴雷李铁王立春王翊王跃林
关键词：微电子机械系统热分析
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