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胡润洪
作品数:
2
被引量:8
H指数:2
供职机构:
广东省计量科学研究院
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发文基金:
国家质检总局科技计划项目
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相关领域:
机械工程
一般工业技术
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合作作者
潘嘉声
广东省计量科学研究院
汤昌社
广东省计量科学研究院
周建友
广东省计量科学研究院
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文献类型
2篇
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机械工程
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主题
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等倾干涉
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平晶
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平面度
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最小二乘拟合
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计量学
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CCD
机构
2篇
广东省计量科...
作者
2篇
周建友
2篇
汤昌社
2篇
潘嘉声
2篇
胡润洪
传媒
1篇
计量学报
1篇
中国测试技术
年份
2篇
2008
共
2
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相关度排序
被引量排序
时效排序
根据等倾干涉标准环直径测量平面度的理论探讨
被引量:5
2008年
从等倾干涉原理出发推导了标准干涉环直径D0的数学表达式和测量方法,并讨论D0在平晶平面度测量中的重要作用。结合实际的等倾干涉仪CCD成像系统,从理论上研究运用机器视觉技术测量D0变化进而探测空气层厚度细微变化(0.02μm)的可行性,并由此提出机器视觉运用于干涉计量领域应解决的通用性问题。
汤昌社
周建友
潘嘉声
胡润洪
关键词:
计量学
平晶
平面度
等倾干涉
机器视觉
基于机器视觉与等倾干涉术的平面度测量装置
被引量:4
2008年
为实现平晶平面度的快速测量,运用机器视觉技术对等倾干涉仪进行改造。计算机对CCD采集的干涉图进行实时处理,再利用所有像素样本点(约4 000个)的最小二乘法同时拟合出多条干涉环直径并计算标准干涉环直径D0。对平晶表面不同的检定点,测量软件均能根据其实测D0值计算平面度。改造后的干涉仪不但显著提高了工作效率,且大大降低了劳动强度。
汤昌社
潘嘉声
周建友
胡润洪
关键词:
平晶
CCD
最小二乘拟合
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