石海波
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：西北工业大学研究生创业种子基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 球头压痕确定薄膜模量的等效膜厚法被引量：2
- 2012年
- 基于Hertz方程,修正了平头压痕薄膜系统的力学模型,建立了用于评估球头压痕确定薄膜弹性模量的等效膜厚法。采用有限元方法对模型进行计算分析,结果发现,当薄膜弹性模量大于基体时,计算误差小于Ranjana和William(RW)模型[1];当薄膜弹性模量小于基体时,对于较深的压痕计算得到的结果仍然和理论值相符,说明本模型可以用于比较深的压痕情况。另外,研究了薄膜屈服强度和球压头半径对计算结果的影响,结果显示,薄膜的压缩屈服强度越大,等效膜厚法得到的结果越准确;而在同一压痕深度下,较大的压头半径会带来较大的误差,当压痕深度较小时,薄膜的弹性模量受压头半径的影响较小。最后通过TiN/sapphire在球压头和三棱锥压头下的试验,验证了本方法。
- 赵翔王峰会郭章新刘铁军黄建业石海波
- 关键词：弹性模量
