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王倩倩

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：北京理工大学机电工程与控制国家级重点实验室更多>>
发文基金：武器装备预研基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇英文
  • 1篇在线检测
  • 1篇在线检测方法
  • 1篇图像
  • 1篇图像检测
  • 1篇MEMS
  • 1篇MEMS器件

机构

  • 1篇北京理工大学

作者

  • 1篇王禛
  • 1篇石庚辰
  • 1篇王倩倩
  • 1篇曾涛
  • 1篇张兵

传媒

  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于激光光切法的MEMS器件高度在线检测方法(英文)被引量：1
2012年
为了解决MEMS器件在加工过程中在线高度检测的困难,提出了一种基于激光光切法的MEMS器件高度在线检测方法.首先建立了用以验证激光光切法有效性的高度在线检测系统;然后提出了一种基于阈值分割、数学形态学、逐行扫描法和加权最小二乘法的快速激光中心线提取算法.实验表明,建立的高度在线检测系统的最大平均误差及误差的均方差分别为-6.38μm和1.87μm,且检测一次高度的时间为1.03 s.因此,激光光切法可以用于MEMS器件高度的在线检测.
曾涛石庚辰张兵王禛王倩倩
关键词：MEMS图像检测
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