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王倩倩
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
北京理工大学机电工程与控制国家级重点实验室
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发文基金:
武器装备预研基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
张兵
北京理工大学机电工程与控制国家...
曾涛
北京理工大学机电工程与控制国家...
石庚辰
北京理工大学机电工程与控制国家...
王禛
北京理工大学机电工程与控制国家...
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1篇
2012
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基于激光光切法的MEMS器件高度在线检测方法(英文)
被引量:1
2012年
为了解决MEMS器件在加工过程中在线高度检测的困难,提出了一种基于激光光切法的MEMS器件高度在线检测方法.首先建立了用以验证激光光切法有效性的高度在线检测系统;然后提出了一种基于阈值分割、数学形态学、逐行扫描法和加权最小二乘法的快速激光中心线提取算法.实验表明,建立的高度在线检测系统的最大平均误差及误差的均方差分别为-6.38μm和1.87μm,且检测一次高度的时间为1.03 s.因此,激光光切法可以用于MEMS器件高度的在线检测.
曾涛
石庚辰
张兵
王禛
王倩倩
关键词:
MEMS
图像检测
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