雷晓阳
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：福州大学物理与信息工程学院光电显示技术研究所更多>>
- 发文基金：福建省科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 平板显示器中ITO透明电极制备的研究被引量：1
- 2008年
- 利用光刻技术和湿法刻蚀技术制备ITO透明电极,借助视频显微仪和台阶仪观测电极形状和表面形貌。比较了不同溶液的刻蚀效果,指出采用盐酸加三氯化铁溶液刻蚀效果最佳,分别讨论了HCl含量和FeCl3含量变化对ITO膜刻蚀速率的影响。最后指出在25±2℃的环境下,刻蚀液HCl、H2O和FeCl3.6H2O的配比满足3L∶1L∶(20～30g)时,ITO膜的刻蚀速率能达到1nm/s,所制备的透明电极边缘整齐无钻蚀,适合于制备平板显示器中的透明精细电极。
- 姚亮张永爱雷晓阳郭太良
- 关键词：平板显示器湿法刻蚀
- 光刻胶在场发射显示器(FED)制备中的应用被引量：1
- 2006年
- 论述了光刻胶在场发射显示器制备中的应用,采用丝网印刷技术将光刻胶转移到镀有金属薄膜的玻璃基片上,利用紫外光对其进行光刻,通过视频显微镜对每一步实验过程进行观察和测试,以确定最佳实验工艺。结果表明,利用200目的丝网将光刻胶印刷至基片上,在85℃下保温60分钟,曝光55s,采用1%的25℃碳酸纳显影60s,110℃下固膜30分钟后,蚀刻出的金属电极精细整齐,为制备FED精细电极奠定了基础。
- 雷晓阳张永爱姚亮郭太良
- 关键词：场发射显示器光刻胶显影蚀刻
