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王将
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1
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供职机构:
云南农业职业技术学院
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相关领域:
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合作作者
王勇
昆明医学院
文小玲
昆明医学院
郭家智
昆明医学院
陈平
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1篇
2005
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磁控溅射实验仪器的改进
2005年
利用电磁继电器原理,对JGP500A型超高真空多靶磁控溅射仪进行了改进,从而显著地提高了效率,节约了大量的人力、物力。本文对溅射仪的构造及改进进行了论述。
王勇
王将
陈平
文小玲
郭家智
关键词:
磁控溅射
继电器
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