王刚
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 供职机构：西安飞行自动控制研究所更多>>
- 发文基金：国际科技合作与交流专项项目国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术理学更多>>
- 耦合结构对音叉式陀螺振动特性的影响被引量：1
- 2013年
- 耦合结构对MEMS音叉式陀螺振动特性具有重要影响。针对一种典型结构的音叉式陀螺及其耦合结构,在分析其工作原理的基础上,建立了其驱动模态的振动模型。基于该模型,计算了在陀螺刚度不对称、驱动力幅值不对称及质量不对称3种情况下,该耦合结构对陀螺振动特性的影响。利用有限元仿真软件,对该耦合结构在3种情况下对陀螺振动特性的影响进行了仿真比较。计算与仿真结果表明,当驱动力频率恒定时,耦合结构的刚度对振动特性无影响;但是对于工作在固有频率点的音叉式陀螺,通过改变耦合结构尺寸,能够调整陀螺固有频率,进而对振动特性产生影响。根据结果,提出了音叉式陀螺耦合结构的设计准则。
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- 关键词：MEMS有限元
- 真空封装硅微陀螺品质因数的标定被引量：5
- 2014年
- 建立了真空封装陀螺的无激励欠阻尼二阶系统模型,用于测量真空封装硅微陀螺的品质因数。对该模型进行理论推导,提出了一种时延常数测试方法。该方法首先利用锁相环路,驱动陀螺实现闭环谐振,获得较大的初始振幅。然后关断激励信号,通过放大电路和解调电路,记录硅微陀螺振荡幅值的衰减过程;用计算机通过Matlab GUI实时采集并拟合振幅衰减曲线,获得时间常数。最后,通过时间常数解算获得真空封装硅微陀螺的品质因数。对真空封装硅微陀螺品质因数的实验测试结果表明:该方法实测数据与理论分析模型的拟合度为99.999%,测试重复性为4.03%,优于传统的扫频测试法的重复性。对比时延常数法与锁相放大器扫频测试法的测试数据显示:时延常数法具有更高的测量精度和更高的测试效率。该方法可以推广到其它高真空封装MEMS器件的品质因数测量。
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- 关键词：真空封装品质因数扫频法
