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曾清华

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇面粗糙度
  • 1篇溅射
  • 1篇表面粗糙度
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇粗糙度
  • 1篇TIN

机构

  • 1篇中国工程物理...

作者

  • 1篇李建国
  • 1篇羊俊
  • 1篇曾清华
  • 1篇赵龙

传媒

  • 1篇轻合金加工技...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
2A12铝合金精密件基体表面粗糙度对低温磁控溅射TiN的影响被引量：1
2011年
研究2A12铝合金精密件表面在低温磁控溅射沉积TiN薄膜过程中,基体表面粗糙度对成膜过程及薄膜显微硬度的影响。结果表明,低温磁控溅射沉积处理几乎不改变2A12铝合金精密件基体原始表面形貌,对其精密加工状态具有遗传性或复制性。通过显微硬度测试表明,随着2A12铝合金精密件加工精度的提高,基体表面粗糙度降低,TiN薄膜的显微硬度稳定在19 MPa以上,满足了2A12铝合金精密测试杆特殊功用的要求。
李建国赵龙羊俊曾清华
关键词：表面粗糙度磁控溅射TIN
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