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刘俊

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：淮安信息职业技术学院更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

机构

  • 1篇淮安信息职业...
  • 1篇机械科学研究...

作者

  • 1篇邓高见
  • 1篇刘俊

传媒

  • 1篇机电产品开发...

年份

  • 1篇2010
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排序方式：
基于着色时间Petri网的多组合设备建模技术研究
2010年
模块化组合设备(cluster tool)是晶圆制造过程中的一种典型的集成化设备,设备配置的复杂程度由晶圆加工工艺方案决定。针对这一特点,研究了多组合设备(Multi-cluster tool)系统的Petri网建模问题。本文对晶圆加工多组合设备的加工流程进行了分析,提出了一种多组合设备系统的分解方法,并构建了多组合设备系统的着色时间Petri网模型。
刘俊邓高见
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