饶张飞
- 作品数：16 被引量：11H指数：2
- 供职机构：西安微电子技术研究所更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程经济管理自动化与计算机技术更多>>
- 从节能率看燃气冷热电联产的热经济性被引量：2
- 2006年
- 建立了冷热电三联产系统与三分产系统节能率比较的数学模型。通过对以不同的燃气轮机、吸收式制冷机、汽轮机等组成不同模式下的三联产系统节能率的计算分析了影响冷热电联产节能性的因素,并以临界煤耗率作为判断冷热电联产是否节能的条件。
- 孙小婷顾昌饶张飞
- 关键词：冷热电三联产吸收式制冷节能
- 一种脉宽调制型恒流源电路
- 本发明公开了一种脉宽调制型恒流源电路，包括基准电压发生电路和V/I转换电路，基准电压发生电路包括幅度变换电路、滤波电路、电压放大缓冲电路和并联线性控制电路，PWM控制信号经幅度变换电路后使输出波形在参考电压V<Sub>R...
- 秦凯亮饶张飞张邑炜刘瀚文
- 一种硅晶圆离子注入掺杂标准片制备方法
- 本发明提供一种硅晶圆离子注入掺杂标准片制备方法，具体步骤如下：S1对硅衬底注入目标元素离子得到硅晶圆片，对硅晶圆片进行退火，得到退火硅晶圆片；S2对退火硅晶圆片的注入剂量进行横向均匀性评价；S3对退火硅晶圆片采用扩展电阻...
- 饶张飞秦凯亮薛栋金红霞
- 宽禁带半导体器件脉冲电压测试及校准技术研究
- 2022年
- 针对第三代宽禁带(WBG)半导体分立器件的脉冲测试及测试用脉冲电压信号的校准需求,在WBG半导体分立器件双脉冲测试(DPT)方法和原理研究的基础上,分析了目前国内外常用WBG半导体分立器件测试设备的技术现状,提出了3 kV/50μs脉冲电压的精密校准难题。进一步对脉冲高压校准现状及校准方法进行研究,通过电阻式分压器机理分析、设计及仿真,研制出了耐压3 kV、上升时间140 ns、幅值线性度0.03%的精密分压器。采用自研制的脉冲分压器对半导体分立器件测试设备的脉冲电压进行校准,校准结果的不确定度为0.5%,满足脉冲高压校准需求。
- 饶张飞秦凯亮薛栋金红霞
- 关键词：宽禁带半导体测试设备
- 一种脉宽调制型恒流源电路
- 本发明公开了一种脉宽调制型恒流源电路，包括基准电压发生电路和V/I转换电路，基准电压发生电路包括幅度变换电路、滤波电路、电压放大缓冲电路和并联线性控制电路，PWM控制信号经幅度变换电路后使输出波形在参考电压V<Sub>R...
- 秦凯亮饶张飞张邑炜刘瀚文
- 文献传递
- 一种高速数字示波器带宽校准测试装置及测试方法
- 本发明公开了一种高速数字示波器带宽校准测试装置及测试方法，属于示波器带宽校准领域。本发明的测试装置，包括电阻R1、电阻R2、电阻R3和三个测试端口；电阻R1的一端连接信号输入端port1，另一端连接电阻R2的一端和电阻R...
- 牛文娟秦凯亮饶张飞
- 文献传递
- 从节煤率看楼宇冷热电联产的热经济性
- 2007年
- 根据燃气冷热电联产系统对余热利用形式的不同,介绍了其几种常见的燃气三联产模式,然后建立了联产与分产通过节煤率进行比较的数学模型,并对不同燃气轮机机组按不同方式实施热电冷联产的节能性进行了计算、分析,比较了各个系统的优劣性。
- 孙小婷顾昌李君周元祥饶张飞
- 关键词：热经济性
- 基于特征参数仿真的引线键合强度测量系统分析被引量：1
- 2023年
- 引线键合强度测量具有破坏性和不可重复测试的特性,无法采用传统的测量系统分析方法对其进行分析。采用对工艺参数总体分布的特征参数的均值和标准偏差仿真的方法,选择服从相同正态分布的标准砝码作为替代样本。利用方差分析法计算引线键合强度测量系统的重复性和再现性,分析替代样本与操作者的交互作用。基于特征参数仿真的测量系统分析方法可以反映引线键合强度测量系统的精密度,降低了产线统计过程控制的成本。
- 牛文娟饶张飞刘瀚文
- 关键词：键合强度
- 一种晶圆级纳米尺度计量标准器及其制造方法
- 本发明公开了一种晶圆级纳米尺度计量标准器及其制造方法，属于纳米几何量计量标准器制造领域。一种晶圆级纳米尺度计量标准器及其制造方法，在现有电子束光刻制备标准样片的基础上，通过光刻工艺在6寸、8寸或12寸的晶圆上制作与标准样...
- 饶张飞吴道伟张宁金红霞秦凯亮
- 基于晶圆栅格标准样片的特征尺寸扫描电子显微镜放大倍数在线校准被引量：1
- 2023年
- 半导体制程中特征尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)是用于芯片特征尺寸在线测量的高精度设备,其测量结果会直接影响器件电性能参数评估和电路产品可靠性判断。对CD-SEM的计量特性评价,国内目前仍缺乏专用计量标准器具和校准规范,在实际工作中,大多参照JJF 1916-2021《扫描电子显微镜校准规范》进行测长示值误差的在线计量。基于100 nm晶圆栅格标准样片对CD-SEM放大倍数在线校准方法进行了重点讨论,并结合实例阐述了特定放大倍数下不确定度分析过程和结果符合性判定方法,同时进一步对校准过程中的3类问题和相应解决措施进行了总结,对今后集成电路纳米级参数测量设备在线校准研究具有借鉴意义。
- 金红霞饶张飞秦凯亮
- 关键词：特征尺寸CD-SEM
