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裴晋泽

作品数：1 被引量：8H指数：1
供职机构：中国人民解放军海军装备研究院更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇溅射
  • 1篇工程应用
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 1篇杨长胜
  • 1篇裴晋泽

传媒

  • 1篇新技术新工艺

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
柔性基底薄膜在磁控溅射镀膜领域的应用研究被引量：8
2010年
聚乙烯醇(PVA)薄膜、聚酰亚胺(PI)薄膜、聚酯(PET)薄膜是磁控溅射时使用的几种典型柔性基底薄膜,其主要性能参数有耐温、放气率、拉伸强度和复合强度等,这些性能的好坏是选用磁控溅射柔性基底薄膜的重要标准。本文通过对比磁控溅射镀膜时所用的几种柔性基底薄膜的使用性能,给出了适合磁控溅射制备微屑的柔性基底薄膜和制备多层膜的柔性基底薄膜。
杨长胜裴晋泽贾广生
关键词：磁控溅射工程应用
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共1页<1>
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