王立君
- 作品数:3 被引量:0H指数:0
- 供职机构:中国科学院声学研究所更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信理学一般工业技术化学工程更多>>
- 涂覆PVA膜的Love波湿度传感器的实验研究
- 了Love波湿度传感器实验装置,测量了不同相对湿度(RH)时的传感器响应.Love波由制作在ST-90°X石英基底表面上的两个周期为28μm的叉指换能器(IDT)激发和接收,采用溶胶凝胶法和旋涂法在器件表面制作...
- 王立君刘建生何世堂
- 关键词:聚乙烯醇膜相对湿度
- 基于PVA/ST-90°X石英的Love波湿度传感器的实验研究
- 2015年
- 报道了覆盖聚合物敏感膜的Love波传感器的湿度检测性能。该传感器采用在ST-90°X石英基底上旋涂聚乙烯醇(PVA)膜作为波导层兼吸湿层,测量了密闭空间中相对湿度从9%增加到88%时器件的工作频率及损耗。实验表明,频率偏移和损耗增量均由吸附后质量负载所产生,其变化规律遵循第III类等温吸附曲线。
- 王立君刘建生何世堂
- 关键词:声表面波LOVE波湿度传感器相对湿度
- 涂覆聚合物膜的Love波传播特性
- 2015年
- 该文计算了涂覆聚合物膜的Love波传感器波速和波导层相对膜厚的关系,并进行了实验验证。Love波器件以ST-90°X石英晶体为基片,在基片表面镀一层不同膜厚的聚乙烯醇(PVA)膜作为波导层兼吸湿层。采用网络分析仪测量了相对湿度35%左右器件的工作频率和插入损耗分别随膜厚的变化,算出Love波波速和PVA相对膜厚的关系,当PVA膜厚度从0增大到波长的5%时,Love波速度由约4 992m/s降低到4 840m/s,和理论计算结果一致。
- 王立君刘建生何世堂
- 关键词:声表面波LOVE波聚乙烯醇聚合物膜传感器