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魏爱国

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室更多>>
发文基金：吉林省环保局科技项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电极
  • 1篇气体
  • 1篇气体传感
  • 1篇气体传感器
  • 1篇微加热器
  • 1篇微结构
  • 1篇温度分布
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇吉林大学

作者

  • 1篇韩郁
  • 1篇王连元
  • 1篇田云霞
  • 1篇李守春
  • 1篇陕皓
  • 1篇李伟
  • 1篇刘丽
  • 1篇魏爱国

传媒

  • 1篇仪表技术与传...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种新型微结构气体传感器电极设计分析被引量：3
2012年
利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层,在单晶硅衬底上,设计了一种新型微结构气体传感器的电极结构。这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰。通过有限元分析工具分析加热器和信号电极在不同宽度与间距下的温度分布。当加热器宽度为100μm,信号电极宽度35μm,间距为70μm,传感器获得均匀的温度分布和低功耗,有利于传感器整体性能的提高。
韩郁刘丽陕皓王连元李守春李伟田云霞魏爱国
关键词：气体传感器微加热器电极温度分布
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共1页<1>
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