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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇氧化锌
  • 1篇英文
  • 1篇晶体管
  • 1篇薄膜晶体
  • 1篇薄膜晶体管
  • 1篇薄膜生长
  • 1篇MOCVD

机构

  • 1篇吉林大学
  • 1篇吉林建筑工程...

作者

  • 1篇付国柱
  • 1篇马凯
  • 1篇马仙梅
  • 1篇常遇春
  • 1篇杨小天
  • 1篇杜国同
  • 1篇荆海
  • 1篇高文涛
  • 1篇齐晓薇
  • 1篇高博
  • 1篇金虎
  • 1篇朱慧超
  • 1篇王超

传媒

  • 1篇电子器件

年份

  • 1篇2008
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
氧化锌薄膜生长与ZnO基薄膜晶体管制备(英文)被引量:2
2008年
通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长ZnO薄膜。XRD测试显示出(002)晶面的强衍射峰,表明生长的ZnO薄膜是主度的c轴取向。基于ZnO薄膜基础,我们制备了ZnO基薄膜晶体管。
马仙梅杨小天朱慧超王超高文涛金虎齐晓薇高博付国柱荆海马凯常遇春杜国同
关键词:氧化锌薄膜晶体管MOCVD
共1页<1>
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