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高博
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王超
吉林建筑工程学院
朱慧超
吉林大学
金虎
长春光学精密机械与物理研究所
齐晓薇
长春光学精密机械与物理研究所
高文涛
长春光学精密机械与物理研究所
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吉林建筑工程...
作者
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付国柱
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马凯
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马仙梅
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常遇春
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杨小天
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杜国同
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高博
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朱慧超
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王超
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年份
1篇
2008
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氧化锌薄膜生长与ZnO基薄膜晶体管制备(英文)
被引量:2
2008年
通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长ZnO薄膜。XRD测试显示出(002)晶面的强衍射峰,表明生长的ZnO薄膜是主度的c轴取向。基于ZnO薄膜基础,我们制备了ZnO基薄膜晶体管。
马仙梅
杨小天
朱慧超
王超
高文涛
金虎
齐晓薇
高博
付国柱
荆海
马凯
常遇春
杜国同
关键词:
氧化锌
薄膜晶体管
MOCVD
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