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李瑞

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇氮化镓
  • 1篇等离子体增强
  • 1篇电子回旋共振
  • 1篇金属有机物
  • 1篇金属有机物化...
  • 1篇GAN
  • 1篇玻璃衬底
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇大连理工大学

作者

  • 1篇秦福文
  • 1篇吴爱民
  • 1篇顾彪
  • 1篇王文彦
  • 1篇徐茵
  • 1篇宋世巍
  • 1篇姜辛
  • 1篇李瑞

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
玻璃衬底上低温沉积GaN薄膜研究被引量：3
2008年
采用电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积（ECR-PEMOCVD）方法在康宁7101型普通玻璃衬底上沉积了GaN薄膜,利用反射高能电子衍射（RHEED）、X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）和霍尔测量系统对样品进行了检测,研究了其结晶性和电学特性随沉积温度的变化。结果表明,当沉积温度为250-430℃时,得到的GaN薄膜都呈现高度的c轴择优取向,结晶性较好;薄膜表面形貌较为平整且呈n型导电。
王文彦秦福文吴爱民宋世巍李瑞姜辛徐茵顾彪
关键词：氮化镓玻璃衬底
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共1页<1>
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