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董国建

作品数:1 被引量:2H指数:1
供职机构:辽宁工业大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金:辽宁省自然科学基金辽宁省高校创新团队支持计划教育部科学技术研究重点项目更多>>
相关领域:金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇退火
  • 1篇转变温度
  • 1篇相结构
  • 1篇溅射
  • 1篇TIO2薄膜
  • 1篇TIO_2薄...
  • 1篇变温
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇辽宁工业大学

作者

  • 1篇王冰
  • 1篇唐立丹
  • 1篇董国建

传媒

  • 1篇金属热处理

年份

  • 1篇2016
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
磁控溅射TiO_2薄膜的相结构转变温度被引量:2
2016年
利用射频磁控溅射制备了TiO_2致密薄膜,并通过退火实现TiO_2的相转变,采用扫描电镜,X射线衍射等手段对薄膜相结构进行表征并做了详细的分析。结果表明,退火后TiO_2薄膜结构致密,表面呈现出大小均匀的纳米晶粒。400℃退火时,TiO_2薄膜为单一的锐钛矿相,500~600℃退火时为锐钛矿和金红石混合相,700℃以上退火时则完全转变为金红石相。
梅海林唐立丹王冰董国建
关键词:磁控溅射TIO2薄膜退火
共1页<1>
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