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刘焱华
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
南通大学理学院江苏省专用集成电路设计重点实验室
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发文基金:
南通市应用研究计划项目
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相关领域:
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合作作者
陶涛
南通大学理学院江苏省专用集成电...
孙海燕
南通大学理学院江苏省专用集成电...
陈海进
南通大学理学院江苏省专用集成电...
程梦璋
南通大学理学院江苏省专用集成电...
徐炜炜
南通大学理学院江苏省专用集成电...
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南通大学学报...
年份
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2008
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110V体硅LDMOS器件研究
被引量:1
2008年
利用SILVACO TCAD工艺仿真和器件仿真软件研究了110 V体硅LDMOS器件的几个重要参数对器件耐压特性的影响.研究结果表明,漂移区剂量存在一个最优值,过大将导致漂移区难以耗尽而使得沟道与漂移区边界发生击穿,而过小则导致漂移区迅速耗尽而在漏端表面发生击穿;衬底浓度低对提高开态击穿电压有一定效果,但低浓度衬底难以在CMOS工艺中使用;场氧与P阱和漂移区的PN结界面距离在零或者略大于零时器件耐压性有最优值;栅极板长度存在最优值,栅极板过长或过短都将使得器件的击穿电压有所降低.
罗向东
孙玲
陈海进
刘焱华
孙海燕
徐炜炜
陶涛
程梦璋
景为平
关键词:
LDMOS
击穿电压
仿真
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