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李庆涛

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院自动化研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇运动控制
  • 1篇运动控制器
  • 1篇四象限探测器
  • 1篇探测器
  • 1篇控制器
  • 1篇PLC

机构

  • 1篇中国科学院自...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 1篇汪建华
  • 1篇徐德
  • 1篇刘云
  • 1篇李庆涛

传媒

  • 1篇制造业自动化

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于PLC的大范围运动与高精度对准控制被引量：3
2007年
针对掩模版传输过程中的大范围运动与高精度对准这两个关键问题,本文采用基于PLC的全闭环位置控制方法,设计了用于掩模版传输和对准的机械手控制系统。对于大范围运动,利用旋转编码器和光栅尺检测机械手的速度和位移,构成三闭环控制系统。对于高精度对准,利用四象限探测器检测掩模版位置与姿态偏差,构成四闭环控制系统。实验结果表明,利用本文控制系统,机械手在大范围传输和高精度对准时的速度和精度都可以满足生产要求。
李庆涛徐德刘云汪建华
关键词：运动控制器四象限探测器
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共1页<1>
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