于淼
- 作品数:3 被引量:4H指数:1
- 供职机构:电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
- 相关领域:一般工业技术理学更多>>
- 金属有机物化学气相法制备YBCO超导薄膜研究被引量:1
- 2010年
- 运用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD),在LaAlO3(LAO)单晶上沉积YBa2Cu3O7-x(YBCO)超导薄膜。通过使用优化的进液装置,使金属有机源连续、稳定地输送至蒸发皿进行闪蒸。通过优化总气压、氧分压等生长条件,获得高质量的YBCO薄膜。在固定的温度条件下,调节反应总气压和氧分压,在总压为380Pa,氧分压为180Pa获得YBCO薄膜临界电流密度Jc=0.6MA/cm2。随着氧分压增大,YBCO薄膜产生a轴取向,(005)峰向左偏移,且薄膜中的Cu/Ba由1.0变化至1.63。在Cu/Ba=1.48时,YBCO薄膜结构与性能较优。
- 戴邵康于淼陶伯万高磊
- 关键词:氧分压金属有机物化学气相沉积
- MOD法在双轴织构Ni-W合金基片上制备SrTiO_3缓冲层被引量:3
- 2007年
- MOD(金属有机化合物沉积)方法被认为是制备第二代高温超导带材最有应用前景的方法之一。文中采用MOD方法在具有双轴织构的Ni基带上制备SrTiO3薄膜作为高温超导带材的缓冲层,并研究了种子层前驱溶液和退火工艺对SrTiO3薄膜的微观结构及表面形貌的影响。通过这种方法,在Ni-5at.%W基带上获得了具有良好择优取向和表面平整的SrTiO3薄膜。
- 田震于淼熊杰陶伯万
- 关键词:缓冲层SRTIO3MOD
- MOCVD法制备双面带材的模拟计算与实验研究初探
- 金属有机化学气相沉积(MOCVD)法制备双面YBa2Cu3O7-δ(YBCO)高温超导带材,将Y(DPM)3、Ba(DPM)2和Cu(DPM)2源按配比混合,由氩气与氧气携带送入反应室,利用Computational F...
- 于淼张昭高磊敬通国熊杰赵晓辉陶伯万
- 关键词:气流场金属有机化学气相沉积高温超导带材YBCO薄膜