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范云
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第二研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李斌
中国电子科技集团公司第二研究所
张磊
中国电子科技集团公司第二研究所
魏汝省
中国电子科技集团公司第二研究所
王英民
中国电子科技集团公司第二研究所
王利忠
中国电子科技集团公司第二研究所
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中国电子科技...
作者
1篇
徐伟
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王利忠
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王英民
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魏汝省
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范云
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张磊
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李斌
传媒
1篇
电子工艺技术
年份
1篇
2016
共
1
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15.24cm(6英寸)高纯半绝缘4H-SiC单晶生长
被引量:1
2016年
SiC单晶是第三代半导体核心材料之一,具有宽带隙、高热导率、高临界击穿电场和高电子饱和迁移速率等,特别适合制作高密度集成的微电子器件和工作在高温、高频、高压、大功率和强辐射等极端条件下功率电子器件[1-3]。基于SiC单晶衬底制备的GaN/SiCHEMT微波器件主要应用于军事领域,为了克服与衬底材料有关的寄生电容引起的信号损失,必须采用绝缘或者半绝缘衬底,
王英民
魏汝省
李斌
徐伟
王利忠
范云
张磊
关键词:
半绝缘
单晶生长
功率电子器件
微电子器件
高热导率
第三代半导体
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