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刘艳南

作品数：6 被引量：2H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 3篇晶圆
  • 3篇键合
  • 2篇圆片
  • 2篇真空紫外
  • 2篇真空紫外光
  • 2篇直线轴承
  • 2篇双手
  • 2篇轴承
  • 2篇晶片
  • 2篇晶圆片
  • 2篇键合界面
  • 2篇键合强度
  • 2篇光轴
  • 2篇过盈
  • 2篇过盈配合
  • 2篇合法
  • 2篇横梁
  • 1篇直接键合
  • 1篇烧瓶
  • 1篇水蒸气

机构

  • 6篇哈尔滨工业大...

作者

  • 6篇刘艳南
  • 5篇王晨曦
  • 5篇田艳红
  • 4篇王春青

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 3篇2017
  • 1篇2016
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种利用真空紫外光清洗及活化材料表面的装置
一种利用真空紫外光清洗及活化材料表面的装置，属于半导体制造加工领域。密封箱体的右侧壁上安装有气阀一、气阀二及气阀三，密封箱体的前侧壁上位于左侧设有样品取送窗口一，位于右侧设有样品取送窗口二，样品取送窗口一处密封安装有样品...
王晨曦许继开刘艳南田艳红冯智健周诗承李思马竟轩
文献传递
基于真空紫外光表面活化的硅基晶圆低温直接键合研究
近年来集成电路器件的特征尺寸日益接近摩尔定律的物理极限，电子/光学/生物医疗器件的多功能芯片集成变为新型电子产品的关键推动力。键合(又称为“连接”)工艺是整合多元化复杂系统的不可替代的重要环节。晶圆直接键合可以使得经过抛...
刘艳南
关键词：真空紫外光表面活化直接键合工艺参数
一种辅助手动晶圆键合装置
一种辅助手动晶圆键合装置，包括长直角弯头接头、晶圆槽A、晶圆槽B、定角度合页、缓冲块A、缓冲块B、直线轴承A、直线轴承B、直线轴承C、直线光轴A、直线光轴B、直线光轴C、弹簧A、弹簧B、弹簧C、直线轴承连接件和底座，长直...
王晨曦许继开田艳红刘艳南曾小润王春青
文献传递
一种交叉十字键合法测量晶片键合强度的方法及夹持装置
一种交叉十字键合法测量晶片键合强度的方法及夹持装置，属于键合强度测量领域。拉伸夹持棒一端与晶片存储槽外侧底面中部固接，晶片存储槽的槽侧壁的顶端设有一个直角横梁，直角横梁水平梁与晶片存储槽的槽侧壁的顶端连接为一体，直角横梁...
王晨曦许继开戚晓芸籍晓亮刘艳南田艳红王春青
一种辅助手动晶圆键合装置
一种辅助手动晶圆键合装置，包括长直角弯头接头、晶圆槽A、晶圆槽B、定角度合页、缓冲块A、缓冲块B、直线轴承A、直线轴承B、直线轴承C、直线光轴A、直线光轴B、直线光轴C、弹簧A、弹簧B、弹簧C、直线轴承连接件和底座，长直...
王晨曦许继开田艳红刘艳南曾小润王春青
文献传递
一种交叉十字键合法测量晶片键合强度的方法及夹持装置
一种交叉十字键合法测量晶片键合强度的方法及夹持装置，属于键合强度测量领域。拉伸夹持棒一端与晶片存储槽外侧底面中部固接，晶片存储槽的槽侧壁的顶端设有一个直角横梁，直角横梁水平梁与晶片存储槽的槽侧壁的顶端连接为一体，直角横梁...
王晨曦许继开戚晓芸籍晓亮刘艳南田艳红王春青
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