路浩天
- 作品数：2 被引量：11H指数：1
- 供职机构：北京航空航天大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- 用大气开放式MOCVD方法在玻璃基片上制备TiO2薄膜的研究
- 采用大气开放式金属有机化合物化学气相沉积方法(AP-MOCVD),以四异丙醇钛(TTIP)为原料,在不同的实验条件下在玻璃基片上制备TiO2薄膜。当气化室温度为140℃,基片温度为350℃时,玻璃基片上生长的薄膜XRD谱...
- 李丽娜谷景华张跃路浩天
- 关键词：MOCVDTIO2取向性
- 用MOCVD法在玻璃和Si(100)基片上制备TiO_2薄膜被引量：11
- 2005年
- 采用大气开放式金属有机化合物化学气相沉积方法(AP-MOCVD),以四异丙醇钛(TTIP)为原料,在不同的实验条件下分别在S i(100)和玻璃基片上制备TiO2薄膜。当气化室温度为140℃,基片温度为350℃时,玻璃基片上生长的薄膜XRD谱中只出现了锐钛矿相(200)晶面的衍射峰,表明此时薄膜高度取向,在S i(100)基片上生长的TiO2薄膜也有取向性。通过SEM观察高度取向的TiO2薄膜表面出现四边形的微结构。
- 李丽娜谷景华张跃路浩天
- 关键词：MOCVDTIO2薄膜取向性
