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冯文胜

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：五邑大学信息学院更多>>
发文基金：广东省自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇扩散法
  • 1篇溅射
  • 1篇P型
  • 1篇P型ZNO
  • 1篇P型ZNO薄...
  • 1篇磷
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇五邑大学

作者

  • 1篇曾庆光
  • 1篇朱慧群
  • 1篇丁瑞钦
  • 1篇梁满堂
  • 1篇梁毅斌
  • 1篇林民生
  • 1篇冯文胜
  • 1篇梁达荣

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
磷扩散法制备p型ZnO薄膜被引量：3
2007年
应用射频反应磁控溅射的方法,将ZnO薄膜沉积于高磷掺杂的n+型Si衬底上。在沉积和后退火过程中,磷向ZnO薄膜扩散并被激活,使ZnO薄膜由n型转化为p型,从而形成p型ZnO薄膜。X射线衍射分析(XRD)证明了所制备的ZnO薄膜都是高c轴取向的六角纤锌矿结构的薄膜。电学I-V关系曲线的整流特性和空穴浓度≥1.78×1018/cm3的霍耳效应测试结果证明了p型ZnO薄膜的形成。
丁瑞钦朱慧群曾庆光林民生冯文胜梁毅斌梁满堂梁达荣
关键词：P型ZNO薄膜磁控溅射
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