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魏松

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇单片
  • 1篇单片机
  • 1篇电特性
  • 1篇脉冲
  • 1篇脉冲功率
  • 1篇可调
  • 1篇放电
  • 1篇放电特性
  • 1篇MPP

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...

作者

  • 1篇田修波
  • 1篇巩春志
  • 1篇魏松

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
可调脉冲功率(MPP)磁控溅射电源研制及放电特性的研究被引量：1
2013年
可调脉冲电源MPP(modulated pulsed power)磁控溅射技术是一种新型的高功率磁控溅射技术。基于STC12C5A60S2单片机为控制单元研制了MPP电源。电源可以输出多种脉冲波形,能够实现优化的高功率脉冲磁控溅射工艺。MPP放电模式表现为初始的弱放电和随后的高功率大电流放电行为。MPP放电电压影响着高功率放电电流和脉冲宽度,而放电气压主要影响起辉时刻,但对放电电流大小影响不大。引入引燃脉冲可实现低气压下的高功率大电流放电。
魏松田修波巩春志
关键词：放电特性单片机
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