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温迪
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
河北工业大学材料科学与工程学院信息功能材料研究所
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发文基金:
天津市自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
张雯
河北工业大学材料科学与工程学院...
乔治
河北工业大学材料科学与工程学院...
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溅射
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机构
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河北工业大学
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河北汉盛光电...
作者
1篇
乔治
1篇
张雯
1篇
温迪
传媒
1篇
人工晶体学报
年份
1篇
2013
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用于HIT太阳能电池的ITO薄膜制备与性能研究
被引量:3
2013年
采用中频脉冲磁控溅射工艺制备ITO薄膜,研究了衬底温度和溅射功率对薄膜性能的影响。通过对二者的优化,获得了方阻为2.99Ω/□,电阻率为1.76×10^-4Ω·cm,可见光波段(400—800nm)平均透过率为82.3%的ITO薄膜。将优化后的薄膜用于电池上,制出了转化效率为14.04%的HIT太阳能电池。
温迪
雷青松
乔治
高美伶
薛俊明
张雯
关键词:
ITO薄膜
衬底温度
溅射功率
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