赵彦
- 作品数：15 被引量：4H指数：1
- 供职机构：南京理工大学更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 一种基于重粘稠膏药涂敷成型的全自动膏药机
- 本发明公开了一种基于重粘稠膏药涂敷成型的全自动膏药机，利用传送机构、灌药机构、压膜成型机构的有机结合，辅之以光电传感器、压力传感器实现其精确定位以及定量，实现重粘稠膏药涂敷、成型一体化的流水线过程。传送机构利用控制自动送...
- 高志山黄磊陈玥洋杨忠明朱丹赵彦刘志颖
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- 基于虚拟牛顿环的大曲率半径非零位干涉测量方法及装置
- 本发明提出一种基于虚拟牛顿环的球面大曲率半径非零位测量方法及装置。该方法利用二阶极坐标变换将圆载频牛顿环干涉图转换为线载频干涉图，利用二阶极坐标下的线载频待测牛顿环干涉图和线载频标准牛顿环干涉图叠加形成的莫尔条纹，通过解...
- 高志山黄磊杨忠明王凯亮赵彦陈玥洋
- 基于散射光偏振变化检测极紫外掩膜相位型缺陷的方法
- 本发明公开了一种基于散射光偏振变化检测极紫外掩膜相位型缺陷的方法，本方法基于搭建散射光偏振变化检测极紫外掩膜相位型缺陷的装置以及时域有限差分方法建立的面型信息数据库，采用椭圆偏振散射测量法获取偏振扰动变化信息，利用加权最...
- 高志山赵彦窦建泰刘志颖袁群杨忠明王帅成金龙
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- 基于偏轴型位相波带片干涉显微检测装置
- 本发明公开了一种基于偏轴型位相波带片干涉显微检测装置，包括13.5nm极紫外光源、聚焦波带片、五维精密微调整台、偏轴型波带片、光纤点衍射装置和极紫外亮暗场CCD。偏轴型波带片采用镂空位相型结构，对+1级衍射光实现调制，当...
- 高志山窦健泰赵彦刘志颖杨忠明袁群王帅成金龙朱丹
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- 一种多波长梯度加速相位恢复迭代算法被引量：4
- 2017年
- 在传统多波长迭代算法的基础上,引入角谱传输理论和梯度加速函数,提出一种快速收敛的相位恢复迭代算法——多波长梯度加速迭代算法。该算法利用不同波长的光源经过相同光路在固定位置处所探测的光场强度信息,通过迭代逼近,并在迭代过程中引入梯度加速方法,提高收敛速度,从而恢复出输入面的相位信息。构建仿真模型,随机选取初始迭代值,对已知相位分布的输入场进行相位恢复,并与传统多波长迭代算法进行了比较,该算法表征相位面复原精度的相对均方根值均达到10-3数量级,收敛速率提高了两倍以上。在635~785nm波段内选取多组不同波长数量的入射光利用该算法进行对比实验,结果表明当波长数量为7、8时该算法具有良好快速的收敛特性及高精度的相位恢复能力。
- 赵彦高志山窦健泰袁群
- 关键词：全息迭代算法相位恢复多波长
- 一种空间结构式太阳模拟器的光路结构
- 本发明公开了一种空间结构式太阳模拟器的光路结构，包括氙灯、椭球聚光镜、第一平面反射镜、空间折转镜、光学积分器场镜、光学积分器投影镜组、光学滤光片、第二平面反射镜、离轴抛物面反射镜。氙灯位于椭球聚光镜的第一焦点处；光学积分...
- 高志山刘志颖杨忠明窦健泰王伟赵彦黄磊陈玥洋
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- 一种多区域结构位相型波带片
- 本发明公开了一种多区域结构位相型波带片，包括透光衬底和镀在所述透光衬底上的透光薄膜，在所述透光薄膜上刻蚀N个同心圆环，N≥3，所述相邻同心圆环的环带相位相差为π，沿径向方向将位相型波带片分成M个区域，2≤M≤10，每个区...
- 高志山窦健泰杨忠明赵彦袁群王帅成金龙朱丹
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- 基于虚拟牛顿环的大曲率半径非零位干涉测量方法及装置
- 本发明提出一种基于虚拟牛顿环的球面大曲率半径非零位测量方法及装置。该方法利用二阶极坐标变换将圆载频牛顿环干涉图转换为线载频干涉图，利用二阶极坐标下的线载频待测牛顿环干涉图和线载频标准牛顿环干涉图叠加形成的莫尔条纹，通过解...
- 高志山黄磊杨忠明王凯亮赵彦陈玥洋
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- 一种多区域结构位相型波带片
- 本发明公开了一种多区域结构位相型波带片，包括透光衬底和镀在所述透光衬底上的透光薄膜，在所述透光薄膜上刻蚀N个同心圆环，N≥3，所述相邻同心圆环的环带相位相差为π，沿径向方向将位相型波带片分成M个区域，2≤M≤10，每个区...
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- 基于多波长迭代算法的极紫外光刻掩模检测关键技术研究
- 极紫外(EUV)（λ=13.5nm）光刻技术是世界范围内最被看好的实现22nm最小刻线的下一代光刻技术。其光刻掩膜版在制作过程中参入纳米量级的灰尘污染、杂质颗粒，引入的鼓包、凹坑出现在基底表面或埋藏在多层膜内部或掩模表面...
- 赵彦
- 关键词：极紫外光刻相位恢复
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