您的位置： 专家智库 > >

程锋

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇阳极
  • 1篇阳极氧化
  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇局域
  • 1篇光栅
  • 1篇硅表面
  • 1篇AFM

机构

  • 1篇上海市特殊人...

作者

  • 1篇李同保
  • 1篇马艳
  • 1篇马蕊
  • 1篇程锋

传媒

  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
基于AFM硅表面局域阳极氧化的特性研究及纳米计量标准样板的制作被引量：1
2016年
基于原子力显微镜(AFM)在硅(Si)表面进行局域阳极氧化的技术,以其成本低、易加工等优势被广泛应用于各种纳米元器件的制造.本文基于AFM在Si表面进行局域阳极氧化来制作纳米计量标准样板,首先分别在接触模式和轻敲模式下进行实验,定量分析了偏置电压、移动速率和刻蚀方向等主要参数对所得纳米线尺寸的影响,从而得到标准样板制作的最佳加工参数:在探针针尖电压为-7 V、移动速率为0.3μm/s、Z Distance值为-45 nm时,可以产生稳定的标准样板结构;同时两种模式下对纳米氧化线的影响趋势相同.最后在此最佳参数下,利用AFM在Si表面进行局域阳极氧化,加工得到了一维线光栅、二维光栅和圆形光栅结构.
程锋马艳马蕊李同保
关键词：原子力显微镜阳极氧化光栅
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0