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王迅
作品数:
1
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供职机构:
中国科学院高能物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
朱海军
复旦大学物理学系应用表面物理国...
郑文莉
复旦大学物理学系应用表面物理国...
胡冬枝
复旦大学物理学系应用表面物理国...
毛明春
复旦大学物理学系应用表面物理国...
王迅
复旦大学物理学系应用表面物理国...
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蒋最敏
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王迅
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物理学报
年份
1篇
1997
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X射线衍射研究表面活化剂对异质外延薄层Ge结构的影响
1997年
利用原位的反射式高能电子衍射和非原位的X射线衍射技术,研究了活化剂Sb对于Ge在Si上外延过程的影响.当没有活化剂、Ge层厚度为6nm时,外延Ge层形成岛状,应力完全释放.当有Sb时、Ge在Si上的生长是二维的,并且应力释放是缓慢的,即使Ge外延层厚为6nm,仍有42%的应变没有弛豫.
朱海军
蒋最敏
郑文莉
姜晓明
徐阿妹
毛明春
毛明春
张翔九
胡冬枝
关键词:
X射线衍射
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