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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇射线衍射
  • 1篇X射线衍射
  • 1篇X射线衍射研...
  • 1篇

机构

  • 1篇复旦大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇蒋最敏
  • 1篇姜晓明
  • 1篇张翔九
  • 1篇徐阿妹
  • 1篇王迅
  • 1篇毛明春
  • 1篇胡冬枝
  • 1篇郑文莉
  • 1篇朱海军
  • 1篇王迅

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇1997
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
X射线衍射研究表面活化剂对异质外延薄层Ge结构的影响
1997年
利用原位的反射式高能电子衍射和非原位的X射线衍射技术,研究了活化剂Sb对于Ge在Si上外延过程的影响.当没有活化剂、Ge层厚度为6nm时,外延Ge层形成岛状,应力完全释放.当有Sb时、Ge在Si上的生长是二维的,并且应力释放是缓慢的,即使Ge外延层厚为6nm,仍有42%的应变没有弛豫.
朱海军蒋最敏郑文莉姜晓明徐阿妹毛明春毛明春张翔九胡冬枝
关键词:X射线衍射
共1页<1>
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