王晓雪
- 作品数：2 被引量：10H指数：1
- 供职机构：辽宁师范大学物理与电子技术学院更多>>
- 发文基金：大连市科学技术基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 衬底温度对ZnO:Al薄膜结构和光透过性能的影响被引量：10
- 2012年
- 利用超声喷雾热解方法以不同的沉积温度(450～530℃)在石英衬底上制备出具备较高光学质量的ZnO:Al(AZO)薄膜.通过X射线衍射谱(XRD)研究了薄膜的结构,用扫描电子显微镜(SEM)研究了薄膜的表面形貌,用紫外可见(UV)分光光度计对薄膜的光透过特性进行了测试分析.结果表明:所制备薄膜在可见波段具有较高透过率,并且沉积温度对AZO薄膜的结构和光透过性能有很大影响.在衬底温度为470℃时得到的AZO薄膜具有(002)择优取向,结晶质量最好、光透过率最高,在可见光区平均透过率达到85%以上.
- 王玉新孙景昌郑亚茹王晓雪梁鸣林茂魁崔硕
- 关键词：AZO薄膜透过率
- 氮气分压比对硼碳氮薄膜的组分及光学带隙的影响
- 2011年
- 采用射频磁控溅射方法以不同的氮气分压比（1/10-2/3）制备出一组硼碳氮薄膜.傅里叶变换红外光谱（FTIR）和X射线光电子能谱（XPS）测量发现样品的组成原子之间均实现了原子级化合.XPS测量结果表明,所有样品中的B、N原子比近似为1∶1,其化学配比为BCxN（0.16〈x〈1.46）.紫外/可见/近红外分光光度计用于测量样品的吸收光谱.由吸收谱线在低能区域（2.0-3.0 eV）的光吸收,利用关系作图法求出光学带隙Eopt范围为0.17-0.83 eV.氮气分压比对薄膜的组分和光学带隙有很大影响,其通过改变薄膜组分而影响光学带隙,并且碳原子数小的样品具有较宽的光学带隙.以氮气分压比为1/3条件下制备的样品中碳原子数最小,它的光学带隙最宽为0.83 eV.
- 王玉新郑亚茹王晓玉王晓雪董李娜宋哲
- 关键词：射频磁控溅射硼碳氮薄膜光学带隙
