陈俊宏
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中华大学更多>>
- 发文基金：黑龙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
- D-JADE混合产品批间控制技术被引量：1
- 2013年
- 针对混合产品半导体制程,采用了一种多重输入输出批间控制技术.该技术从目前的单机、单产品与单变量的批间控制技术,推广至多机、多产品与多变量的批间控制.所设计的D-JADE控制器采用两个预测器,分别预测制程位移与漂移造成的扰动,然后对下一批次的制程输入做补偿控制,使制程输出控制在期望值.为了验证采用的控制算法,设计了半导体生产制程的干扰模型,并利用此模型对D-JADE和D-EWMA进行了仿真比较.由仿真结果可知,所采用的控制器比传统的D-EWMA控制器具有更好的预测与控制效能.
- 吴勃陈俊宏
- 关键词：JADE半导体制程
- 混货制程批次控制
- 本研究针对混货的半导体制程,发展出一套批次控制技术。文中利用机台的历史数据进行变异数分析（ANOVA）与建立制程的时间序列模型,然后利用扩张卡曼滤波器同时估计预测值与更新制程模型参数。计算机仿真结果显示本文所提出的方法比...
- 陈献庚陈俊宏吴建峰陈正文李世荣
- 关键词：时间序列模型
