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李雪飞

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：广西大学物理科学与工程技术学院有色金属及材料加工新技术重点实验室更多>>
发文基金：有色金属及材料加工新技术教育部重点实验室开放基金广西研究生教育创新计划项目更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇晶体
  • 1篇晶体结构
  • 1篇TIN薄膜

机构

  • 1篇广西大学

作者

  • 1篇王云云
  • 1篇谢尚昇
  • 1篇符跃春
  • 1篇杨为家
  • 1篇李雪飞

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Si(100)衬底上激光分子束外延制备高质量TiN薄膜
2011年
采用激光分子束外延(LMBE)技术在Si(100)上制备了高质量的TiN薄膜。对N2分压和激光脉冲能量对TiN薄膜晶体结构、生长模式和表面形貌影响的研究表明,TiN单晶薄膜呈(200)择优取向,在N2分压为10-1 Pa时,薄膜的结晶度高且表面平整致密。随着N2分压的增加,TiN(200)衍射峰向低角度移动。激光脉冲能量显著影响TiN薄膜的生长模式,在能量为200 mJ/p时,薄膜呈二维层状生长模式且具有纳米级平滑表面,为制备高取向度AlN薄膜提供了很好的条件。
杨为家谢尚昇李雪飞王云云符跃春
关键词：TIN薄膜晶体结构
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