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何颖

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：沈阳理工大学研究生学院更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇叶序
  • 1篇温度场
  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇机械抛光
  • 1篇硅片

机构

  • 1篇沈阳理工大学
  • 1篇海尔集团

作者

  • 1篇袁明波
  • 1篇何颖

传媒

  • 1篇新技术新工艺

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于叶序仿生抛光垫化学机械抛光温度的研究与分析被引量：2
2011年
为了解决在化学机械抛光过程中抛光温度分布不均匀问题,使用叶序仿生抛光垫进行研究,并建立了抛光温度场模型。利用有限元分析软件ANSYS,对抛光温度场进行了仿真分析,获得了抛光垫的叶序参量对抛光温度分布的影响规律。通过对仿真结果进行分析发现,合理选择仿生抛光垫的叶序参数,能够使抛光温度变得更均匀。
何颖袁明波
关键词：化学机械抛光叶序硅片温度场
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