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熊鹰

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：南京航空航天大学机电学院更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇氮化碳
  • 1篇刻蚀

机构

  • 1篇南京航空航天...

作者

  • 1篇相炳坤
  • 1篇孟兆升
  • 1篇解晖
  • 1篇王仕杰
  • 1篇李文帅
  • 1篇熊鹰

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
直流电弧等离子体喷射法制备氮化碳薄膜研究被引量：3
2014年
以H2、N2和CF4气体为前驱体,用直流电弧等离子体喷射设备在不同基底温度条件下于钼/金刚石过渡层基底上制备了氮化碳薄膜。利用扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)对表面形貌和组织成分进行了表征。结果表明,当基底温度为900℃时,所沉积材料已初具晶型;所沉积材料含有α-C3N4和β-C3N4相成分。同时,提出在金刚石表面制备氮化碳时金刚石相刻蚀和氮化碳相生长同时进行的模型,较好地解释了不同基底温度条件下的膜材料沉积现象。
孟兆升相炳坤王仕杰李文帅熊鹰解晖余琦佩
关键词：氮化碳刻蚀
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