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李漫漫
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沈阳仪表科学研究院有限公司
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合作作者
朱娜
沈阳仪表科学研究院有限公司
常胜利
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徐淑霞
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硅压阻式压力传感器失效分析
本文根据硅压阻式压力传感器生产过程和出厂检验中的不合格现象,应用微电子学理论和电子元器件可靠性工程理论进行了原因分析,并从生产工艺角度提出了有效控制成品率提高可靠性的方法.
徐淑霞
常胜利
常伟
刘柏汇
朱娜
王彤
李漫漫
关键词:
压力传感器
微电子学
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