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张继光

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第二研究所更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇真空
  • 2篇真空炉
  • 1篇闸阀
  • 1篇退火
  • 1篇退火设备
  • 1篇硅片

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇张继光
  • 1篇贾鑫

传媒

  • 1篇电子工业专用...
  • 1篇轻工科技

年份

  • 2篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
闸阀提升机构在大型真空双室炉中的应用
2014年
对真空双室炉闸阀提升结构的设计及其装配进行较大的改进,研究闸阀提升结构在大型双室炉中的使用。介绍闸阀提升结构的结构特点、装配要点及达到的技术指标。闸阀提升机构的研究提升了大型真空双室炉设备的稳定性,满足了零件热处理工艺的要求,提高了设备的生产率。
张继光
关键词：真空炉闸阀
移动式硅片退火设备的研制
2014年
对硅片退火设备的结构及功能进行了大量的改进,介绍了设备的工作原理、结构特点及达到的技术指标。研究了硅片在真空炉中的退火工艺。该设备的研究提升了硅片退火处理的稳定性及工艺性,达到了工艺要求的效果。
张继光贾鑫
关键词：硅片退火真空炉
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共1页<1>
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