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刘坤
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
河南理工大学物理与电子信息学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
张聪
河南理工大学物理与电子信息学院
宗海涛
河南理工大学物理与电子信息学院
曹国华
河南理工大学物理与电子信息学院
康朝阳
河南理工大学物理与电子信息学院
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张聪
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刘坤
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1篇
真空科学与技...
年份
1篇
2017
共
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蓝宝石衬底上VO_2薄膜的PLD外延生长
被引量:4
2017年
采用脉冲激光沉积技术,在c面蓝宝石衬底上制备出了VO_2薄膜。利用X射线衍射、Raman光谱、原子力显微镜对生长的样品的结构和表面形貌进行了表征;利用霍尔效应测试仪和紫外-可见-红外光分光光度计分别测试薄膜的方块电阻和透过率。结果表明:在蓝宝石衬底上生长出了结晶性能良好的VO_2薄膜;相变前后其方块电阻变化高达4个数量级,红外透过率的变化高达56%。VO_2薄膜表现出了良好的金属-绝缘转变特性。
康朝阳
张聪
程静云
刘坤
李明
曹国华
宗海涛
关键词:
蓝宝石
脉冲激光沉积
VO2薄膜
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