杨瑞
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国石油大学（华东）计算机与通信工程学院更多>>
- 发文基金：山东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 电子束光刻三维仿真研究被引量：3
- 2010年
- 本文利用MonteCarlo方法及优化的散射模型,对电子束光刻中电子在抗蚀剂中的散射过程进行了模拟,通过分层的方法,对厚层抗蚀剂不同深度处的能量沉积密度进行了计算,建立了电子束光刻厚层抗蚀剂的三维能量沉积模型.根据建立的三维能量沉积模型,采用重复增量扫描策略对正梯锥三维微结构进行了光刻仿真.理论分析和仿真结果表明,利用分层的三维能量沉积分布模型能更精确地实现电子束光刻的三维仿真.
- 宋会英杨瑞赵真玉
- 关键词：电子束光刻
- 电子束光刻中的内部邻近效应校正技术研究被引量：1
- 2009年
- 研究了基于图形几何尺寸修正的电子束光刻的内部邻近效应校正技术,利用累积分布函数预先进行内部最大矩形和顶点矩形的快速计算,并把它们存储在矩阵中。在校正过程中,根据初始矩形的尺寸,通过访问矩阵实现内部最大矩形和顶点矩形的快速替换。矩阵的预先建立,最大限度地减小了校正过程中的计算强度。模拟结果表明,通过内部最大矩形和顶点矩形的替换,能够快速地实现内部邻近效应校正,校正时间与被校正图形数目成线性关系增加。在与同类软件精度相同的情况下,提高了运算速度。
- 宋会英杨瑞于肇贤赵真玉
- 关键词：电子束光刻邻近效应校正
