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朱立达

作品数:1 被引量:2H指数:1
供职机构:燕山大学电气工程学院更多>>
发文基金:河北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇谱域
  • 1篇相干
  • 1篇纳米
  • 1篇纳米级
  • 1篇光学
  • 1篇光学相干
  • 1篇光学相干层析
  • 1篇表面形貌
  • 1篇成像

机构

  • 1篇东北大学
  • 1篇燕山大学

作者

  • 1篇马振鹤
  • 1篇周红仙
  • 1篇王毅
  • 1篇朱立达
  • 1篇郭哲

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2017
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
基于谱域相位分辨光学相干层析的纳米级表面形貌成像被引量:2
2017年
提出了一种基于谱域相位分辨光学相干层析的纳米级表面形貌成像方法,由干涉光谱计算样品相邻两点的相位差,得到样品表面相位差分图,经过积分,重建样品表面形貌的定量分布.当相邻两点相位差的绝对值小于π,不产生相位包裹,避免了目前的干涉法相位解包裹存在的问题,将干涉法相邻两点相位差绝对值的限制条件由目前的π扩大到2π,提高了干涉法表面形貌成像的适用范围.参考面和样品置于同一平台之上,消除环境干扰及系统振动的影响,噪声幅度小于0.3 nm.通过对光学分辨率片及表面粗糙度标准样板的表面形貌成像,对本方法进行了验证,系统的轴向分辨率优于1 nm.
王毅郭哲朱立达周红仙马振鹤
关键词:表面形貌
共1页<1>
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