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杨向红
作品数:
4
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供职机构:
黑龙江大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
赵晓锋
黑龙江大学
温殿忠
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机构
4篇
黑龙江大学
作者
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杨向红
3篇
温殿忠
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赵晓锋
年份
2篇
2017
2篇
2016
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单片集成三维磁场传感器研究
本文基于MEMS技术和CMOS工艺设计一种单片集成三维磁场传感器,该结构由两个硅磁敏三极管(SMST)差分结构、一个霍尔磁场传感器和一个高磁导率材料聚磁结构构成。其中,由SMST1管和SMST3管构成的第一差分结构实现对...
杨向红
关键词:
温度特性
单片集成
文献传递
一种力/磁多功能传感器
本实用新型公开了一种力/磁多功能传感器,该传感器包括用来检测外加磁场的第一悬臂梁1,和用来检测外加力的第二悬臂梁2,并由第一薄膜晶体管TFT1沟道等效电阻R<Sub>1</Sub>、第二薄膜晶体管TFT2沟道等效电阻R<...
赵晓锋
杨向红
温殿忠
文献传递
一种力/磁多功能传感器
本发明公开了一种力/磁多功能传感器,该传感器包括用来检测外加磁场的第一悬臂梁1、悬臂梁顶端磁性材料3,和用来检测外加力的第二悬臂梁2、悬臂梁顶端硅质量块4,并由第一薄膜晶体管TFT1沟道等效电阻R<Sub>1</Sub>...
赵晓锋
杨向红
温殿忠
文献传递
一种力/磁多功能传感器
本发明公开了一种力/磁多功能传感器,该传感器包括用来检测外加磁场的第一悬臂梁1、悬臂梁顶端磁性材料3,和用来检测外加力的第二悬臂梁2、悬臂梁顶端硅质量块4,并由第一薄膜晶体管TFT1沟道等效电阻R<Sub>1</Sub>...
赵晓锋
杨向红
温殿忠
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